西人马产品总监谢巍博士：MEMS压力传感器在民用航空领域中的应用
9月24日，中国(上海)国际传感器与应用技术展览会进行到第二天，西人马除了发布塔斯云平台等新品之外，还带来了多款重点产品。
MEMS压力传感器产品是西人马的明星产品，为了满足市场对不同应用场景的需求，西人马一直在扩充自己的MEMS压力传感器产品矩阵。
中高温传感器一直是MEMS压力传感器中难度较大的一个领域，迫于技术压力，国内很少有企业成功研发并生产出中高温压力传感器，民用航空领域一直使用国外进口产品，价格较为昂贵。西人马是由民用航空传感器产品起家，拥有滑油传感器、加速度传感器等先进的航空传感器产品。在看到国内中高温压力传感器的空白之后，西人马决心用自主创新技术攻克行业难题，给民用航空领域的客户更多选择性。目前，西人马已研发生产出从常温到高温的一系列MEMS压力传感器，能够广泛应用于民用航空领域。
9月24日下午的第五届压力传感器创新产业论坛现场，西人马公司产品总监谢巍先生进行了“MEMS压力传感器产品及其在航空测试中的应用”的主旨演讲，深入讲解了西人马产品在民用航空领域中的应用与优势。
▲西人马公司产品总监谢巍先生在现场进行讲解
西人马民用航空领域的MEMS压力系列产品主要是压阻式压力芯片及传感器，包括高温压力芯片、常温动态压力传感器、高精度压力传感器、超薄动态压力传感器和高温动态压力传感器。
作为知名的芯片IDM公司，西人马芯片采用全自主设计，不需要依靠传统EDA软件设计库，具备从深亚微米制程中进行大规模数模混合SoC集成电路的自主开发及设计能力以及基于MEMS传感器芯片工艺开发能力。并且，西人马在2018年取得了AS9100D航空航天质量管理体系认证，近日，经过世界知名认证机构DNV审核组为期5天的现场审核，西人马通过2020年AS9100D航空航天质量管理体系年度审核。西人马在质量管控方面追求品质零缺陷，致力在提升客户满意度的同时打造绿色环保的生产制造环境。
CD0304/CD0305系列中高温压力芯片
西人马CD0304/CD0305系列芯片能够在-40℃~260℃的环境中使用，分别适用于15psi量程的绝压测量和50psi量程的绝压测量，综合精度-0.5%FSO~+0.5%FSO，能够应用于无腐蚀性、非离子的工作流体，如清洁干燥的空气、干燥的气体等。
芯片采用独有的阻条及金属焊盘设计技术，制备出能承受高温、电连接可靠且温飘性能优良的桥臂电阻和金属焊盘。自主开发多层SOI晶圆制备工艺，基于此工艺的中温压力芯片尺寸更小、性能一致性更好。
▲西人马中高温压力芯片CD0304正面图
▲西人马中高温压力芯片CD0304剖面图
TYZV02系列动态压阻式压力传感器
TYZV02设计用于测量静态或动态压力。它的小直径适合于测量飞机表面压力、涡轮发动机进气畸变压力或汽车变速器压力的嵌入式安装。传感器的高频响应允许在风洞中的小规模模型上使用。
▲西人马TYZV02系列动态压阻式压力传感器
TYZV02系列传感器特点：
★工作温度：125℃
★直径：3.8mm
★精度：0.5±%FS
★工作压力：25psi
★爆裂压力：75psi
★灵敏度：12±5mV/psi
★热灵敏度漂移：±1/40℃%typ
▲西人马TYZV02系列动态压阻式压力传感器在民用航空领域中的应用
TYZV03系列高精度压阻式压力传感器
TYZV03是一款板载式差压压力传感器，采用TO-8封装结构，具有极高的准确度以及优良的长期稳定性，能够应用在气流监测等场景。
▲西人马TYZV03系列高精度压阻式压力传感器
TYZV03系列传感器特点：
★准确度：0.05%
★稳定性：长期
TYZV06系列超薄动态压阻式压力传感器
TYZV06是一种极薄型压力传感器，由于其尺寸非常小，其可安装在弯曲的表面上，对层流和热空气的影响很小。因此，它可以集成到各种试验中，如风机叶片、各种类型的发动机喷嘴等。
▲西人马TYZV06系列超薄动态压阻式压力传感器
TYZV06系列传感器特点：
★高谐振频率：180KHz以上
★厚度：0.8mm
★精度：±0.5%FSOMax
★测量范围：50psi
★爆裂压力：150psi
★灵敏度：4.0±0.8mV/psi
▲西人马TYZV06系列传感器在民用航空领域中的应用
TYZV09系列高温动态压阻式压力传感器
TYZV09设计用于测量静态或动态压力。它的小直径适合于测量飞机表面压力、涡轮发动机进气畸变压力或汽车变速器压力的嵌入式安装。传感器的高频响应允许在风洞中的小规模模型上使用。
▲西人马TYZV09系列高温动态压阻式压力传感器
TYZV09系列传感器特点：
★温度：260℃
★直径：3.8mm
★精度：±0.5%FSOMax
★测量范围：50psi
★爆裂压力：150psi
★灵敏度：6±2mV/psi
▲西人马TYZV09系列传感器在民用航空领域中的应用
谢巍先生的讲解获得了观众的一致好评，现场有多位客户表达希望能够与西人马在民用航天领域展开深入广泛的合作。
▲西人马公司产品总监谢巍先生与现场观众互动
在昨日的展会现场，谢巍先生还接受了多家传感器领域知名媒体的采访，分享西人马的技术优势及产品布局。
▲西人马公司产品总监谢巍先生接受媒体采访
上海国际传感器展还将持续到25日，欢迎各界同仁莅临西人马B045展台，进一步了解西人马的先进技术及产品。
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